试样倾斜对熔融石英硅三棱锥纳米压痕测试的影响

编号：FTJS07177

篇名：试样倾斜对熔融石英硅三棱锥纳米压痕测试的影响

作者：朱光宇 董翔宇 高诚辉 刘明

关键词： 计量学 纳米压痕 试样倾斜 熔融石英 三棱锥压头

机构： 福州大学机械工程及自动化学院

摘要： 使用三棱锥压头对不同倾斜角下的熔融石英硅进行纳米压痕实验。结果表明,试样倾斜会影响加载曲线的形状。在相同的载荷下,随着试样倾斜角的增加,压痕最大深度、残余深度及接触深度逐渐减小,但卸载曲线不受影响,彼此保持平行,卸载曲线的拟合参数m及接触刚度值保持恒定。另外,试样倾斜将导致测量的压痕接触面积偏小,从而使得测量的硬度和弹性模量偏大。