ZrCN/VN纳米结构多层膜的微结构、力学性能及摩擦性能研究

编号：NMJS04103

篇名：ZrCN/VN纳米结构多层膜的微结构、力学性能及摩擦性能研究

作者：马冰洋； 喻利花； 曹峻； 许俊华；

关键词：ZrCN/VN纳米结构多层膜； 微结构； 力学性能； 摩擦性能；

机构： 江苏科技大学材料科学与工程学院；

摘要： 通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同调制比的ZrCN/VN纳米结构多层膜,采用X射线衍射、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜的微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究。结果表明,在ZrCN/VN多层膜中,改变调制比,多层膜始终呈现fcc结构,并且沿(111)面择优生长,当VN调制层厚度为0.2 nm时ZrCN/VN多层膜的硬度达到最大值,为34.5 GPa。常温摩擦系数随VN层厚度的增加先增加后减小,高温摩擦系数逐渐降低,Magnéli相V2O5的生成是摩擦系数降低的主要原因。