原子层沉积方法制备核壳型纳米材料研究

编号：NMJS03939

篇名：原子层沉积方法制备核壳型纳米材料研究

作者：李勇； 李惠琪； 夏洋； 刘邦武；

关键词：原子层沉积； 核-壳型纳米材料； 碳黑纳米颗粒；

机构： 山东科技大学,材料科学与工程学院； 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室；

摘要： 采用原子层沉积方法在碳黑纳米颗粒表面分别沉积Al2O3,ZnO,TiO2和Pt,成功制备出核-壳型纳米材料.通过高分辨率透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪、能谱仪对材料的表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析.结果表明,原子层沉积方法是制备核壳型纳米材料的理想方法.此外,还分析了采用原子层沉积方法沉积不同材料,所生长的薄膜材料有单晶、多晶、非晶等多种存在形式的形成原因.