纳米SiO2抛光液的制备及在蓝宝石抛光中的应用

编号：NMJS03407

篇名：纳米SiO2抛光液的制备及在蓝宝石抛光中的应用

作者：张泽芳； 侯蕾； 闫未霞； 刘卫丽； 宋志棠

关键词：蓝宝石； 氧化硅； 抛光； LED； 抛光液

机构： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室； 上海新安纳电子科技有限公司

摘要： 制备一种纳米氧化硅抛光液,采用扫描电子显微镜、激光粒度仪、颗粒计数仪等对其物性参数进行表征;使用该抛光液对LED蓝宝石衬底进行机械化学抛光,采用轮廓仪、表面缺陷检测设备、原子力显微镜等对抛光后的蓝宝石衬底表面进行表征。结果表明,制备的纳米氧化硅抛光液对LED蓝宝石衬底具有优异的抛光性能,抛光后的表面无划伤、无腐蚀坑,且粗糙度小于0.2 nm