纳米制造技术

近日，国务院印发了《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》，旨在加速科技创新与产业升级。在此背景下，纳米科技领域的进步尤为关键，纳米制造技术作为纳米科技应用的基石，对于实现科研成果的产业化具有举足轻重的作用。新型的纳米制造实验设备可促进科学成果从 0 到 1 的突破以及成果的商业化转化，是科研设备更新的重要方向。

在纳米科技的前沿领域，荷兰 VSParticle 公司以其革命性的火花烧蚀纳米气溶胶沉积技术，为研究者和产业界带来了一系列创新的纳米颗粒制备和印刷沉积设备。

01纳米颗粒制备设备

Part 01VSP-G1纳米粒子发生器

纳米颗粒一键合成

VSP-G1 纳米粒子发生器是一台桌面式仪器，可生成尺寸范围为 1 – 20 nm 的纯金属、金属氧化物、碳、半导体、合金纳米气溶胶材料。

纳米颗粒的生产采用纯物理火花烧蚀技术制备，完全在气相中进行，无需真空，无需使用表面活性剂或前驱体。用于纳米粒子生产的源材料仅需材料制成所需的两根靶材（电极），使用时只需安装电极并设置参数，按下按钮即可开始生成纳米颗粒。

所有 VSParticle 产品均采用模块化设计，因此 VSP-G1 纳米粒子发生器既可以用作独立的纳米气溶胶源，也可以与不同的沉积模块结合使用（配置标准的英标卡套接口或 KF40 法兰接口）。

Part 02VSP-A 系列沉积配件

纳米颗粒收集沉积

VSP-A 系列配件是 VSParticle 为纳米颗粒沉积提供的一系列附件，它们可以轻松连接到 VSP-G1 纳米粒子发生器的输出端，使研究人员能够在各种基板上高效地生产和沉积纳米颗粒样品。

配件 1：VSP-A1 扩散附件

o 功能：用于沉积分散的、未团聚的单分散颗粒。

o 应用：适合于原位扫描透射电子显微镜（S/TEM）的样品制备、玻碳电极负载、催化剂载体的修饰等。

o 基底类型：支持多种基底，包括 TEM 网格、MEMS 芯片、掺杂 Si 芯片、电极等。

配件 2：VSP-A2 过滤附件

o 功能：用于负载氧化物和金属纳米粒子，通过在线过滤器收集颗粒。

o 应用：适用于催化剂载体装饰、过滤测试、燃料电池阳极/阴极制造等。

o 基材类型：多孔膜、电纺丝、碳布、滤纸等，基材直径为 47 mm。

o 特点：使用过滤器收集颗粒，便于后续处理和应用。

配件 3 ：VSP-A3 冲压附件

o 功能：用于生长纳米多孔层材料，可作为催化剂载体或敏感材料。

o 应用：适用于燃料电池阳极/阴极制造、分层结构的制备。

o 基板类型：玻璃、Si、TEM 网格、MEMS 芯片等，最大沉积面积为直径 3 mm。

o 特点：能够制备具有特定结构和功能的纳米多孔层

Part 03粒径筛选沉积系统

精准控制纳米颗粒粒径

VSP-S1 是 VSP-G1 的理想伴侣，它是一款用户友好的纳米粒子尺寸选择器，能够轻松筛选出 1-10nm 范围内的单一尺寸颗粒。

• 精准筛选 1-10nm 范围内的单一尺寸颗粒

• 提供 0.1nm 分辨率的精准控制

• 适用于原位 TEM 研究和尺寸依赖的效应研究

• 实时跟踪功能，确保样品一致性和可靠性

粒径均匀

02纳米颗粒印刷沉积设备

Part 01VSP-P1 纳米印刷沉积系统

创新生产的先锋

VSP-P1 纳米印刷沉积系统是 VSParticle 产品线中的高端设备，专为材料开发和小规模生产测试而设计。

VSP-P1 利用火花烧蚀材料的冲压沉积技术，能够实现从稀疏团聚体到厚达几微米的连续层的不同层厚度印刷沉积。它的图案化打印功能使得研究人员能够在非半导体类的纳米薄膜应用中实现精细的厚度控制。

VSP-P1 在高效催化剂涂层膜的开发、电催化剂筛选和气体传感器研究中展现了其卓越的性能和灵活性。

应用功能

• 可内置 1-2 台 VSP-G1 纳米粒子发生器作为材料源实现混合组分的打印沉积

• 可搭配 VSP-S1 粒径筛选沉积模块进行固定粒径颗粒的打印

• 多种喷嘴尺寸可选，可实现最小 100μm 线宽的涂层打印

• 可达 300m/s 的惯性冲击沉积，在保证结合力的同时最小化对基底的破坏

• 打印区域：15×15 cm

应用案例