中国粉体网讯  在半导体产业链中，以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体，也是目前国产化替代的重要领域。同时，以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值，其中碳化硅单晶制备占据价值链最核心位置。4月25日，由中国粉体网主办的“第三届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会暨第三代半导体SiC晶体生长技术交流会”在江苏苏州隆重召开，会议期间，我们邀请到众多专家学者做客“对话”栏目，围绕先进陶瓷在半导体行业的应用研究及碳化硅单晶生长技术及产业化进行了访谈交流。本期为您分享的是潮州三环（集团）股份有限公司市场部副总监兼精密陶瓷事业部副总经理马冲的专访。

中国粉体网：马总，请问潮州三环在半导体用精密陶瓷领域做了哪些重点布局？

马总：三环是一家专门做先进陶瓷的企业，1970年成立。经多年的技术积累和创新，公司高新技术产品已形成以移动终端陶瓷部件、光通信陶瓷部件、氧化铝/氮化铝陶瓷基板、陶瓷封装基座、MLCC（多层片式陶瓷电容器）、 燃料电池电解质隔膜片、接线端子、传统电阻、电阻用陶瓷基体等为主导的多门类产品结构。

在半导体领域，我们目前有几个主要的产品。一个是芯片制造过程中，有很多设备像刻蚀机、沉积的设备PVD、CVD等里面都会用到很多陶瓷零部件、结构件，三环有在做这类先进陶瓷。

三环精密陶瓷结构件

在下游的封测端，像长电、华天、通富，他们在晶圆打线的时候，要用到一个产品就是半导体用陶瓷劈刀，这个也是三环的主要产品之一，目前主要是这两块。

三环陶瓷劈刀

中国粉体网：潮州三环在半导体用陶瓷件的国内、国际市场的开发情况如何？

马总：三环现在主要是做国产替代的工作，因此三环在半导体领域目前主要的精力是在国内市场的开发上。关注国外先进的工艺，然后我们三环独立研发出来，给客户做支持。

中国粉体网：与国际厂商相比，潮州三环在半导体用精密陶瓷方面有哪些突出的优势？

马总：三环做先进陶瓷材料拥有着悠久的历史，先进陶瓷材料在电子领域、半导体领域以及其它高端制造业领域都有着广泛重要的应用。

与其他国际厂商相比，三环有以下突出的特点，首先，半导体领域、电子领域用的先进陶瓷的基础原材料，三环都是自己开发，自己来做的。特别是越高端的制造用的这些先进陶瓷，它的最重要核心之一就是在原材料方面，包括工艺的管控上面。三环在这个方面做了很大的努力，在原材料方面有一定的积累。

然后，我们有自己的测试分析设备。在研究开发方面，三环有几个研究院，潮州研究院、成都研究院、德阳研究院、南充研究院，还有深圳研究院跟苏州将要成立的研究院。我们每年的研发投入都将近五个亿左右。目前我们几个研究院整体的测试分析设备应该也有四个亿左右。要做各种机理的分析，专业的测试分析设备这一点是很重要的。

我们三环曾先后完成多项国家863计划和广东省科技招标项目， 研究开发了与国际先进技术同步发展的固体燃料电池(SOFC)陶瓷电解质隔膜片、 光通信连接器陶瓷插芯和套筒；研制了纳米瓷粉、功能瓷料、电极浆料等多项基础材料。

中国粉体网：在电动车和新能源光伏这两大应用市场，潮州三环有哪些精密陶瓷产品？

马总：在光伏行业，光伏逆变器封装用氮化铝基板，我们有在做，氮化铝基板在散热方面具有独特的优势。

在新能源领域，三环专注于SOFC20年，从2004年开始做电解质隔膜片，12年后做了单电池、电堆、模组及热电联供系统，同步进行了SOEC的技术开发；SOFC是将化学能转为电能的发电技术，世界上效率最高，无污染的发电技术。

三环氮化铝基板

中国粉体网：感谢马总接受我们的采访。

（中国粉体网编辑整理/平安）

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