微系统所新获2项上海市纳米科技计划项目资助

微系统所新获2项上海市纳米科技计划项目资助
2003/11/27 点击 2972 次

2003年度上海市纳米科技计划项目申请评审结果已揭晓，微系统所获2项资助，分别是信息功能材料国家重点实验室吴惠桢研究员申请的《新型立方相MgZnO纳米高K材料研究》和半导体薄膜工程中心刘波博士申请的《纳电子器件C-RAM关键材料制备工艺》，2个项目合计获资助55万元。

（来源：国家纳米中心）

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