金刚石、碳纳米管、碳纳米管/纳米金刚石复合物的制备及生长机制研究

编号：NMJS03129

篇名：金刚石、碳纳米管、碳纳米管/纳米金刚石复合物的制备及生长机制研究

作者：秦宏宇； 徐强； 杨光敏；

关键词：金刚石； 碳纳米管； 碳纳米管/纳米金刚石的复合物； 等离子体增强化学气相沉积；

机构： 长春工程学院勘查与测绘工程学院； 长春师范学院物理学院；

摘要： 采用PECVD技术,通过对基片使用不同的预处理方法和沉积参数,合成了金刚石、碳纳米管及碳纳米管/纳米金刚石复合物.利用SEM,TEM,拉曼光谱对样品的形貌、成分和结构进行了研究.结果表明,在制备样品的过程中,基片的预处理方法和CH4/H2流量比至关重要,它们将影响所制得样品的晶粒大小、形核密度以及微观结构.