微波等离子体化学合成纳米粉体材料研究与应用

编号：FTJS00244

篇名：微波等离子体化学合成纳米粉体材料研究与应用

作者：黄生乔 马兵

关键词：微波等离子体 化学气相沉积 纳米材料

机构： 中国科学院过程工程研究所，北京100080

摘要： 介绍了微波等离子体化学合成技术的原理和特点，分析了微波等离子体化学合成纳米粉体材料相对于其它方法的特点和优势，综述了微波等离子体化学法合成纳米粉体材料这一领域国内外的最新研究与应用情况。

出处：过程工程学报.2002,2(6).-564-569