掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响

编号：NMJS02975

篇名：掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响

作者：孙迎伟； 胡木林； 周志刚；

关键词：ZnO； 掺SiO2的Zn； 厚膜； 气敏传感器；

机构： 华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室；

摘要： 利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时,SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度,而在工作温度为200～350℃时,SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后,讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。