用于六自由度纳米微动台的位移传感器研制

编号：SBJS00288

篇名：用于六自由度纳米微动台的位移传感器研制

作者：陈香兰； 殷宗亮； 徐波；

关键词：纳米测量； 光纤； 光源误差补偿； 微型化；

机构： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院；

摘要： 为测量六自由度纳米微动台的运动,研制了基于光纤微弯原理的位移传感器。设计了新颖的光纤微弯调制结构,利用补偿光纤消除了光源波动对测量精度的影响。实验证明位移传感器的测量精度为±0.048μm,位移分辨率为10 nm,显著优于同原理的其他位移传感器。