编号:NMJS02575
篇名:激光纳米制造技术的应用(邀请论文)
作者:钟敏霖; 范培迅;
关键词:激光技术; 纳米制造; 应用; 超材料; 光子晶体; 功能表面;
机构: 清华大学机械工程系激光加工研究中心先进成形制造教育部重点实验室;
摘要: 纳米制造技术是目前全球关注和研究的重点,激光纳米制造是其中的主要核心技术之一。从激光远场尤其是近场纳米制造技术的角度,介绍了表面纳米结构和三维纳米结构/器件的制造,重点论述了激光纳米制造技术在一些新兴领域的应用,包括超材料、光子晶体、数据存储、生物医学、传感器以及功能表面等,以期从应用角度引起对激光纳米制造技术的更多关注和研究。