纳米多孔金薄膜显微结构分析

编号：NMJS02262

篇名：纳米多孔金薄膜显微结构分析

作者：陈静； 胡文成； 杜凯； 张运娟； 张淑洋； 张林；

关键词：无氰镀金； 氧化铝模板； 化学镀； 电镀； 纳米多孔金薄膜；

机构： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心； 电子科技大学微电子与固体电子学院； 四川大学原子与分子物理研究所；

摘要： 采用亚硫酸金钠为主盐,在阳极氧化铝模板上进行了化学镀和电镀金实验研究。通过扫描电子显微镜和X射线衍射分析测试表明:采用以上两种方法均能制备出纳米多孔金薄膜。两种方法制备的多孔金薄膜微观结构存在较大的差异。化学镀制备的多孔金薄膜微观上是枝晶状的,电镀制备的多孔金薄膜微观上由纳米线构成。