010-82930964 
编号：NMJS02000
篇名：Mn-Cu合金成分对去合金化法制备纳米多孔铜的影响
作者：尹硕； 谭秀兰； 李恺； 罗江山； 蒋晓东； 唐永建； 胡文成；
关键词：电弧熔炼； 去合金化； 合金成分； 纳米多孔铜； 微观形貌；
机构： 电子科技大学微电子与固体电子学院； 中国工程物理研究院激光聚变研究中心；
摘要： 采用电弧熔炼制备出前驱体Mn-Cu合金,在稀盐酸溶液中自由腐蚀去合金化,制备出具有双连续结构的纳米多孔铜。研究了前驱体合金的成分对纳米多孔铜微观结构及Mn的选择性腐蚀程度的影响。结果表明:前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数为43%时,其去合金化受到抑制,存在明显的未完全去合金化的岛状结构;前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数为32%～23%时,可完全去合金化,形成平均孔径尺寸为20～100nm,平均系带尺寸为30～80 nm,具有双连续结构的纳米多孔铜;前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数低至20%时,去合金化后存在大量裂纹,形成纳米颗粒聚集体。纳米多孔铜中存在少量的残余Mn,残余Mn的原子分数随着前驱体合金Mn原子分数的增高而降低。实验表明腐蚀液浓度对纳米多孔铜形貌也存在影响。
