编号:NMJS01730
篇名:英国质量计量设备厂商和Intel,IMEC合作开发20纳米节点半导体工艺
作者:沈熙磊;
关键词:质量计量; 设备厂商; 纳米; 节点; 半导体工艺; 合作开发; 英国; 计量技术; 高精度; 创新发展;
机构:
摘要: <正>英国质量计量设备厂商Metryx日前正式加入一项由欧洲厂商主导的半导体设备创新发展评估项目,在此合作框架下,Metryx将和Intel,IMEC等展开深入合作,为20纳米节点半导体工艺开发提供高精度质量计量技术和设备。高精度质量计量技 更多还原