用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪

编号：CSJS00042

篇名：用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪

作者：李立艳； 王坚； 韩春阳； 苑勇贵； 吴冰； 杨军； 苑立波；

关键词：测量； 激光干涉仪； 纳米测量； 差动干涉； 光路集成化；

机构： 哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心；

摘要： 研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。