直流热阴极PCVD法掺氮纳米金刚石薄膜形貌及结构的影响

编号：NMJS01699

篇名：直流热阴极PCVD法掺氮纳米金刚石薄膜形貌及结构的影响

作者：王明磊； 彭鸿雁； 尹龙承； 祁文涛； 姜宏伟；

关键词：直流热阴极； PCVD； 纳米金刚石膜； 掺氮；

机构： 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室；

摘要： 采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,通过在CH4/H2的混合反应气源中通入不同流量的N2,合成了掺氮纳米金刚石薄膜。结果表明随着氮气流量的增加,金刚石薄膜表面形貌发生明显变化:晶粒细化,晶界和缺陷有所增多,膜层由尺寸较大微晶颗粒转向纳米级菜花状结构,并且薄膜表面粗糙度相应变小。同时薄膜中非金刚石组份相对逐渐增多。氮气的引入可以促进金刚石二次形核,抑制金刚石大颗粒生长,对薄膜的生长取向、形貌及结构都产生一定影响。