纳米晶体钛基掺钽TiO_2薄膜的摩擦磨损性能

编号：NMJS01547

篇名：纳米晶体钛基掺钽TiO_2薄膜的摩擦磨损性能

作者：于春杭； 邵红红； 许晓静； 翟瑞；

关键词：材料表面与界面； 掺钽TiO2薄膜； 磁控溅射； 纳米晶体钛； 摩擦磨损；

机构： 江苏大学材料科学与工程学院；

摘要： 采用室温直流反应磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备掺钽TiO2薄膜,研究了掺Ta量对纳米晶体钛基TiO2薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明:在室温模拟人体体液条件下,掺钽TiO2薄膜与不锈钢淬火钢球（Φ4mm）对摩的磨损率为10-6-10-5mm3·m-1 N-1级;随着Ta含量的增加,薄膜的摩擦系数和磨损率呈先减小后增加的趋势,掺Ta量（质量分数）为22%Ta的TiO2薄膜具有最低的摩擦系数（0.20）和磨损率(1.5×10-6mm3·m-1·N-1。具有良好的抗磨性能与其硬度与弹性模量比高、抗腐蚀性强和摩擦系数低一致。