微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法

编号：NMJS01533

篇名：微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法

作者：李成贵； 熊昌友；

关键词：微纳米表面； 表面粗糙度； 微观几何形貌； 测量方法；

机构： 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院； 中航工业北京长城计量测试技术研究所；

摘要： 概述微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性的几种测量方法和测量原理,如触针法、光学法、原子力法等,并介绍市场上在用的几类代表性表面形貌商用仪器(如粗糙度仪、轮廓仪、干涉仪、测量显微镜等)的特点、性能指标及应用范围,对微纳米级表面质量测量和评价有参考价值。