单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计

编号：NMJS01036

篇名：单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计

作者：曹敏; 陈够喜; 仝晓刚;

关键词：集成光学; SOI纳米线波导; 光栅耦合器; 耦合效率;

机构： 中北大学电子与计算机科学技术学院;

摘要： 波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色。与其他的耦合方法相比,光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点,成为纳米光波导最有潜力的耦合方法。本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法。仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、SiO2层厚度等光栅参数对耦合效率的影响,并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42.6%;输出光栅耦合器的耦合效率达到72.3%的一组最佳光栅参数。