CVD法合成的无定型纳米粉体的晶化

编号：NMJS00028

篇名：CVD法合成的无定型纳米粉体的晶化

作者：陆忠乾 江东亮 谭寿洪 严东生

关键词：化学气相沉积法，纳米，晶化，无定型，碳化硅

机构： 中国科学院上海硅酸盐研究所

摘要： 以六甲基二硅氨烷(HMDS)为原料，采用CVD方法，在不同温度下合成的粉体，经XRD测定，确定为无定型.经不同温度晶化处理后，发现1000℃时合成粉体随着晶化温度的提高，颗粒长大并变长，接近哑铃状.经1500℃晶化处理后，颗粒呈晶须状，而经1600℃处理后才完全晶化. 粉体则随着晶化处理温度的提高，局部的颗粒长大，温度愈高，长大的颗粒愈?经1500℃晶化处理后，从XRD，TEM及HREM可以看出粉体全部晶化，颗粒的结晶已非常完整，晶格网络清晰可见，颗粒度约为20―40nm，外表面有一层1―2nm的膜包裹.

出处：硅酸盐学报1998 01