Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究

编号：CYYJ03962

篇名：Ag纳米颗粒增强SnO2纳米薄膜的室温气敏性能研究

作者：刘文强 吴鹏举 王瑗瑗 连艳利 杨莹丽

关键词： 二氧化锡纳米薄膜 AG纳米颗粒 异质结 气体传感器

机构： 河南理工大学物理与电子信息学院 中国联合网络通信有限公司焦作市分公司 河南理工大学分析测试中心

摘要： 采用磁控溅射法在p-Si衬底上沉积二氧化锡(SnO2)纳米薄膜并在其上负载银(Ag)纳米颗粒作为气体传感器的敏感材料。实验结果表明:负载Ag纳米颗粒提高了SnO2纳米薄膜的灵敏度。Ag溅射时间为80 s,负载量为6%质量分数的SnO2纳米薄膜对乙醇气体的响应值较未负载Ag纳米颗粒时提高了78.7%,这可以归因于Ag纳米颗粒与SnO2纳米薄膜之间形成了异质结。实验测试了工作电压对SnO2纳米薄膜灵敏度的影响,当工作电压均为5.5 V时,传感器对乙醇和丙酮气体的响应最佳,响应值分别为3.49和4.51。