纳米ZnO薄膜的热蒸发法制备及其光电特性研究

编号：NMJS00587

篇名：纳米ZnO薄膜的热蒸发法制备及其光电特性研究

作者：楼曹鑫; 马锡英; 黄仕华; 王丽伟;

关键词：热蒸发法; ZnO薄膜; 光致发光; SEM;

机构： 浙江师范大学数理信息学院; 绍兴文理学院光电材料研究所;

摘要： 以醋酸锌为原料、O/Ar的混合气体为携载气体,在500℃的温度下应用热蒸发法在p型Si基片上生长纳米ZnO薄膜,并研究了其形貌、结构和光电特性。X-射线(XRD)衍射结果显示所制备ZnO纳米晶体呈六角纤锌矿结构;扫描电子显微镜(SEM)观察发现生长的ZnO薄膜平整均匀,纳米晶体颗粒平均尺寸为25nm。应用紫外-可见光吸收谱分析了其吸收特性,发现该ZnO薄膜在紫外波段具有很强的吸收,其吸收边位于320nm处。由于量子限制效应,与体材料相比,该吸收边存在明显的蓝移。应用光致发光谱(PL)研究了其发光特性,发现该ZnO薄膜在近紫外以及蓝-绿光波段具有强烈的受激发射。最后,还研究了ZnO薄膜的电容-电压(C-V)特性。