纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展

编号：NMJS08376

篇名：纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展

作者：宋志键 刘世凯 黄威 徐天兵 陈颖鑫 孙亚光

关键词： 氮化铝 纳米粉体 制备方法 应用领域 研究进展

机构： 河南工业大学材料科学与工程学院 连云港市沃鑫高新材料有限公司

摘要： 纳米氮化铝(AlN)具有优良的热导率、电学性能和力学性能,被广泛应用于新一代半导体器件。氮化铝器件的性能表现取决于氮化铝粉体的质量,因此,优质氮化铝粉体的制备是氮化铝行业发展的关键。本文综述了氮化铝的纳米粉体制备及相关应用的研究进展,并讨论了氮化铝的发展方向。