基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究

编号：NMJS00511

篇名：基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究

作者：

关键词：加工技术; 纳米微结构; 加工机理; 嵌段共聚物; 自组装结构; 加工系统; 自组装纳米结构; 动力学仿真; 纳米电子器件; 机械刻划;

机构：

摘要： <正>(项目资助号:50605012)1项目负责人及所在单位:闫永达,哈尔滨工业大学2起止年限:2007年1月～2009年12月3项目简介针对纳米电子器件对有序自组装纳米结构的迫切需求,建立了基于AFM的纳米机械刻划加工系统,采用分子动力学仿真方法研究了探针纳米机械刻划加工机理,深入研究了刻划方向、垂直载荷、进给量、样品材料等因素对加工结构深度、表面质量和精度的影响规律,最终加工出适用于调控自组装过程的二维和三维微纳结构。