氧化镓晶体不同晶面的纳米力学性能

编号：CYYJ02239

篇名：氧化镓晶体不同晶面的纳米力学性能

作者：周海 宋放 韦嘉辉 李永康

关键词： 氧化镓晶体 纳米压痕 纳米划痕 力学性能 塑性域加工

机构： 盐城工学院机械工程学院

摘要： 为了分析易解理的脆性氧化镓晶体的精密加工过程中材料去除机理,采用金刚石压头、G200型纳米压痕仪,分别对氧化镓晶体的(100)和(010)2个主要晶面的纳米力学性能进行了试验研究。纳米压痕试验发现:2个晶面都有"pop-in"现象,首次出现pop-in的载荷分别为:4.31 m N和5.42 m N。通过变载荷纳米划痕试验和VK-X110激光显微系统观测,发现2个晶面都有"pile-up"现象,刻划过程中期均出现了塑性域加工特征,(100)和(010)晶面的塑性域加工切削深度范围分别是96.5~576.8 nm和84.6~421.6 nm。