基于AFM纳米机械刻划加工纳米结构及应用

编号：CYYJ02212

篇名：基于AFM纳米机械刻划加工纳米结构及应用

作者：王继强 耿延泉 闫永达

关键词： AFM 纳米加工 纳流控 拉曼检测 纳米线

机构： 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室

摘要： 原子力显微镜(AFM)是具有纳米级精度的检测设备,同时可应用于纳米结构的加工。AFM纳米加工已经成为微纳结构加工的有效方法之一,可广泛地应用于机械、物理、化学和生物医学等领域。文章首先简要介绍传统微纳加工方法,并对基于AFM的纳米机械加工方法进行详细介绍并分析了其相对优势;然后介绍了AFM加工得到的纳米沟槽和纳米点阵等结构在纳流控及拉曼检测等领域的应用,并对其未来的发展方向进行展望。综述展示了AFM纳米机械加工的应用潜力,为相关领域的研究提供了一种简单、可行的纳米加工方法。