基于WS2纳米片的柔性湿度传感器制备与测试

编号：CPJS06353

篇名：基于WS2纳米片的柔性湿度传感器制备与测试

作者：吕文 谭秋林

关键词： 传感器 柔性基底 WS2纳米片 湿度监控 呼吸监控

机构： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

摘要： 提出了一种基于WS2纳米片的聚酰亚胺柔性湿度传感器,传感器柔性薄膜和叉指电容电极分别采用加热亚胺化工艺和丝网印刷制备得到,其制备工艺简单,成本低廉。实验表明该柔性湿度传感器能够测量25%RH~85%RH的湿度,且在高湿度范围内(60%RH~85%RH),该柔性湿度传感器的灵敏度高达50.42 pF/%RH。传感器的响应和恢复时间分别为11和26 s,具有较好的稳定性和重复性。此外,该柔性传感器的呼吸性能测试结果表明,其能够用于监测时间间隔为2~10 s的呼吸状态,暗示该传感器可用于某些和呼吸频率有关的疾病诊断。