CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征

编号：TLHY00239

篇名：CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征

作者：王志超 王政权 孙帅 王菁 范其香

关键词： 高功率脉冲磁控溅射技术 纳米复合CrAlSiN涂层 相结构 力学性能

机构： 天津职业技术师范大学机械工程学院

摘要： 采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能。结果表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)相,结构致密,与基体的结合力可达25N。