飞秒激光烧蚀纳米孪晶金刚石的研究

编号：CPJS06195

篇名：飞秒激光烧蚀纳米孪晶金刚石的研究

作者：陈俊云 李召阳 王海东

关键词： 纳米孪晶金刚石 飞秒激光 微槽 轮廓

机构： 燕山大学车辆与能源学院

摘要： 纳米孪晶金刚石(ntD)材料不仅具有远高于单晶金刚石的硬度,还拥有各向同性、无解理、韧性及高温稳定性好等优越性能,是硬脆材料进行超精密切削时的理想刀具的材料,但是超高的硬度和高温稳定性等特征限制了该材料的广泛应用。为了解决ntD材料的高效率成形和加工问题,通过理论分析和实验研究了飞秒激光加工中ntD材料的去除过程、微槽加工轮廓预测、加工工艺等内容。建立等效脉冲数模型,用于理论计算不同工艺参数对应的阈值能流密度和实际能流密度。最后通过ntD刀具的轮廓加工验证了飞秒激光技术在ntD材料高效率成形加工中的有效性及文中工艺参数研究的合理性。