纳米氧化铝薄膜湿度传感器的研制

编号：NMJS00200

篇名：纳米氧化铝薄膜湿度传感器的研制

作者：卢云; 刘俊; 侯应应; 于大蔚; 陈大恺;

关键词：湿度传感器; 氧化铝; 多孔膜; 金电极;

机构： 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;

摘要： 研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺,采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀、孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了传感器的湿敏特性:传感器的湿滞<2%,响应时间<10s,恢复时间<40s,性能非常优良。