沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

编号：NMJS06374

篇名：沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

作者：徐强[1] ;杨光敏[2,3] ;秦宏宇[1] ;白继鹏[3]

关键词： 基底温度 薄膜 摩擦学性能 碳化钒纳米薄膜

机构： [1]长春工程学院勘查与测绘工程学院,长春130022; [2]长春师范大学物理学院,长春130032; [3]吉林大学材料科学与工程学院,长春130012

摘要： 采用磁控溅射技术沉积碳化钒（VC）纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.