二氧化钒纳米周期点阵的光学特性

编号：CPJS05429

篇名：二氧化钒纳米周期点阵的光学特性

作者：唐佳茵[1] ;李毅[1,2] ;孙瑶[1] ;刘飞[1] ;郝如龙[1] ;伍征义[1] ;蒋蔚[1] ;徐婷婷[1] ;陈培祖[1] ;方宝英[1] ;王晓华[1,3] ;肖寒[1]

关键词： VO2 纳米周期点阵 光学特性 热致相变

机构： [1]上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093; [2]上海市现代光学系统重点实验室,上海200093; [3]上海电力学院计算机与信息工程学院,上海200090

摘要： 为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO_2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO_2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO_2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39%,透过率整体高于VO_2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO_2纳米周期点阵的结构可以有效提升材料的光学特性.