ZrO2-CuO复合纳米粒子薄膜阻变特性研究

编号：CPJS05135

篇名：ZrO2-CuO复合纳米粒子薄膜阻变特性研究

作者：钱昱 ;邵思佳 ;李建昌

关键词：水热法 ZrO2-CuO纳米粒子 阻变特性 氧空位细丝

机构： 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心,辽宁沈阳110819

摘要： 利用水热法在180℃下制备ZrO2-CuO复合纳米粒子（ZrCu）,XRD测试表明随CuO含量增加,样品的结晶性变好。在ITO基片上旋涂制膜,通过GaIn微滴技术测试伏安特性,研究了复合比对ZrCu薄膜电学特性的影响。结果发现,ZrCu有良好可重复的双极阻变特性,随CuO含量增加,阈值电压降低,开关比降低。ZrCu低阻态符合欧姆特性,高阻态为空间电荷限制导电机制,阻变机理为氧空位细丝的形成与断裂。第一性原理计算结果与实验观察一致。