石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征

编号：CPJS04829

篇名：石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征

作者：史云胜[1,2] ;刘秉琦[1] ;杨兴[2,3]

关键词：微机电器件 红外光谱 纳米级 石墨微结构

机构： [1]军械工程学院电子与光学工程系,石家庄050003; [2]清华大学精密仪器系,北京100084; [3]清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084

摘要： 具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同区域进行表征,获得了多个特征位置的红外光谱。通过对红外光谱的分析发现相对于其他位置,石墨平台表面具有非常有序的碳六元环结构,并且吸附的水分子最少。而石墨平台微结构的边缘由于悬键及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破坏已经不具有碳六元环结构。这些信息为了解微结构的化学状态提供了帮助,明确所处环境对石墨平台微结构不同位置的影响,能够指导微机电器件的制备与应用。