微流控技术制备ZnO纳米线阵列及其气敏特性

编号：NMJS05083

篇名：微流控技术制备ZnO纳米线阵列及其气敏特性

作者：胡杰； 邓霄； 桑胜波； 李朋伟； 李刚； 张文栋；

关键词：氧化锌纳米线； 微流控技术； 水热法； 气敏性能；

机构： 太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心； 太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室； 太原理工大学物理与光电工程学院；

摘要： 利用微流控技术在微通道中制备了Zn O纳米线阵列,通过X射线衍射和扫描电子显微镜分别对纳米线的物相和表面形貌进行了表征.结果发现,合成的Zn O纳米线具有良好的c轴择优取向性和结晶度.同时,对Zn O纳米线阵列在丙酮、甲醇和乙醇气体中的气敏特性进行了研究,测试结果表明:在最佳工作温度(475?C)下,纳米线阵列对200 ppm(1 ppm=10-6)丙酮气体的最大灵敏度可达8.26,响应恢复时间分别为9和5 s;通过与传统水热法制备的Zn O纳米线的气敏性能相比较发现,基于微流控技术制备的纳米线阵列具有更高的灵敏度和更快的响应恢复速度.最后,从材料表面氧气分子得失电子的角度对Zn O纳米线气敏机理进行了讨论.