直流溅射法制备纳米金的工艺及形成机制

编号：NMJS03670

篇名：直流溅射法制备纳米金的工艺及形成机制

作者：窦娜娜； 王涵； 张蓓； 宋西平；

关键词：溅射工艺； 纳米金； 形成机制；

机构： 北京科技大学新金属国家重点实验室； 北京科技大学数理学院物理系；

摘要： 利用直流溅射仪制备了纳米金薄膜,并通过随后的退火处理得到了纳米金颗粒,研究了不同衬底、溅射时间、退火温度及时间对纳米金颗粒形成的影响规律。结果表明,衬底对纳米金的形成有显著的影响,形核质点多的载玻片比单晶硅片更容易形成细小的纳米金颗粒;溅射时间越短,退火温度愈高,纳米金薄膜愈容易球化;在溅射30 s、400℃保温60 min的条件下得到了直径为8～12 nm的金颗粒。根据金的表面能、表面张力以及金原子的扩散等因素讨论了纳米金颗粒的形成机制。