一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法

编号：CSJS00072

篇名：一种适用于在线检测的纳米薄膜厚度精确测量方法

作者：姬弘桢； 邹娟娟； 崔宝双；

关键词：薄膜； 厚度； 测量； 精确；

机构： 中国科学院上海技术物理研究所；

摘要： 提出了一种新的薄膜厚度测量方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底,通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化,即可实现薄膜厚度的精确测量。由于过渡层的厚度已经引起干涉,新镀上去的待测薄膜即使很薄,也会引起干涉的变化。通过镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化,可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度,其测量极限高达1nm以上。该方法既保持了传统光谱法的所有优势,又可以精确测量纳米超薄膜的厚度。它非常简单、快捷,特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量。