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纳米百科 

纳米(nm),又称毫微米,是长度的度量单位。单个细菌用肉眼是根本看不到的,用显微镜测直径大约是五微米。举个例子来说,假设一根头发的直径是0.05毫米,把它径向平...【详情】
纳米磨料在集成电路化学机械平坦化过程中的应用
中国粉体网讯 近年来,化学机械抛光CMP(Chemical mechanical polishing)技术发展迅猛,应用广泛,从半导体工业中的层间介质(ILD)、导体、镶嵌金属、多晶硅、硅氧化物沟道等的平面化,拓展到薄膜存贮磁盘、微电子机械系统(MFM...【详细】
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