BiFeO3纳米纤维压电式压力传感器的制备工艺研究

编号：SBJS00640

篇名：BiFeO3纳米纤维压电式压力传感器的制备工艺研究

作者：盛伟光 ;谭晓兰 ;张久超

关键词： 压力传感器 MEMS工艺 BIFEO3 纳米纤维

机构： 北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144

摘要： 以铁酸铋（BiFeO3，BFO）作为压力敏感材料，利用其压电特性，将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、千法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合，设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器，得到质量较高的传感器样片．分析工艺流程，得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260μm，接着制备电极，再刻蚀硅腔90μm，最后纺丝纳米纤维；在一定条件下纤维取向最优的实验参数是推进速度、电压、接收距离和极板间距分别为0．3mL／h、19kV、14cm和10cm，为铁电材料在微器件上的应用提供了参考．