柔性硬质纳米复合涂层

编号：CPJS05317

篇名：柔性硬质纳米复合涂层

作者：金德里奇·缪塞尔

关键词：硬质纳米复合涂层 微观结构 宏观应力 力学性能 能量 柔性 裂纹抑制 磁控溅射

机构： 西波西米亚大学物理和NTIS部,捷克比尔森CZ-30614

摘要： 研究了利用磁控溅射方法制备的柔性硬质纳米复合涂层。结果表明柔性硬质纳米复合涂层具有以下优异性能：是一类具有高硬度、高韧性以及抗裂纹性能的新型涂层;具有较高的硬度模量比（H/E＊≥0.1,E＊=E/（1-ν2））、弹性恢复系数（We≥60%）、压应力（σ〈0）L,且少缺陷的微观结构;生长处于Thornton结构区域相图的T区。磁控溅射非常适合制备纳米复合涂层,文中将对其制备柔性纳米复合薄膜的机理做深入阐述。涂层生长主要受以下3个参数影响：涂层生长过程中吸收的能量Ep,其包含沉积原子携带的能量Eca和轰击离子携带等能量Ebi（Ep=Eca＋Ebi）,基体温度Ts和涂层材料的熔点Tm。柔性硬质涂层具有广泛的应用前景,如柔性保护涂层、柔性功能涂层、防脆性涂层开裂的柔性保护涂层以及柔性多层涂层。文中还将详细阐述低温磁控溅射制备柔性纳米复合涂层的原理,并阐述纳米复合涂层及其性能的发展趋势。