单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究

编号：FTJS06635

篇名：单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究

作者：宋晨飞 ;钱林茂

关键词：纳米加工 纳米压印 基体材料 高分辨率 表面加工 接触压力 诱导方法 探针技术 加工点 透射电镜

机构： 西南交通大学

摘要： 基于其优异的物理化学性质、良好的绝缘性以及高硬度高耐磨性,单晶石英广泛应用于光栅、纳米压印模板等高精密产品的基体材料。当前单晶石英的纳米加工技术面临着分辨率难以提升,过程复杂等技术瓶颈,而且石英表面加工损伤会显著影响石英器件的服役行为,因此,亟待研究提出高分辨率、简捷、低损伤的石英表面纳米加工方法。