硅氧合金薄膜及其在高效纳米硅薄膜叠层太阳电池中的应用研究

编号：CPJS04805

篇名：硅氧合金薄膜及其在高效纳米硅薄膜叠层太阳电池中的应用研究

作者：俞凤至[1] ;胡安红[2] ;郁摒[2] ;曲铭浩[2] ;汪涛[3] ;张铭[1] ;严辉[1] ;张津岩[2] ;徐希翔[3]

关键词：太阳电池 非晶硅/纳米硅叠层电池 硅氧合金薄膜 p层非晶硅氧薄膜 n层纳米硅氧薄膜

机构： [1]北京工业大学,北京100124; [2]汉能光伏集团双流研发中心,双流610200; [3]四川汉能光伏有限公司,双流610200

摘要： 系统研究两种不同形态的硅氧合金薄膜，用甚高频PECVD系统制备的非晶硅氧和纳米硅氧薄膜的特性，以及其在纳米硅薄膜叠层薄膜太阳电池中的应用。实验中主要通过对不同的气体流量比的优化、沉积功率和沉积压力的优化，分别制备出光学带隙约为2．1ev，折射率约为3的a-SiOx：B：H薄膜，作为非晶硅顶电池的p1层，以及带隙为2．2～2．5ev，折射率为2．0～2．5，晶化率为20％～50％的nc-SiOx：P：H薄膜，作为非晶硅／纳米硅叠层电池的中间反射层和纳米硅的底电池n2层。最后将优化后的a-SiOx：B：H和nc-SiOx：P：H薄膜应用到非晶硅／纳米硅薄膜叠层电池中，在0．79m。的玻璃基板上制备出初始峰值功率为101．1W、全面积初始转换效率为12．8％、稳定峰值功率为87．3W、全面积稳定转换效率为11．1％的非晶硅／纳米硅叠层电池。