微纳米加工工艺数据库的设计研究

编号：NMJS05080

篇名：微纳米加工工艺数据库的设计研究

作者：张楠； 王敏锐

关键词：纳米加工； 工艺数据库； 纳米工艺；

机构： 苏州大学； 中科院苏州纳米所；

摘要： 面向973重大科学研究计划"基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究"、"低维等离子体系统的量子调制及应用研究"和江苏省重大成果转化项目"第三代半导体产业发展关键材料-氮化稼(GaN)晶片开发及产业化"的微纳米结构和器件制备需要,依托苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台和测试分析平台产生的丰富的微纳米加工工艺数据资源,研究设计一个微纳加工工艺数据库,包括原始数据存储数据库、数据整合集成数据库、运行状态数据库、典型问题数据库、异常信息数据库等,实现对微纳米器件加工工艺的有效收集、整理和加工提炼,满足科研人员数据分析、计算和开发新工艺的模拟预测的需求,形成一批通用微纳加工工艺,并逐步在中科院研究所间以及研究所与企业间实现数据共享。通过微纳加工工艺数据库的建立,收集积累大量的加工工艺,为科研人员进一步开展微纳米器件研究提供必要的通用工艺及其加工工艺模拟分析,实现成果共享,减少费时费钱的通用微纳加工工艺的重复研究,加快研究进程,达到降低研究成本和提高研究效率的作用。