ZrO_2/W纳米多层膜的氦离子辐照损伤研究

编号：NMJS04788

篇名：ZrO_2/W纳米多层膜的氦离子辐照损伤研究

作者：孔淑妍； 高原； 王宏伟； 王晨旭； 朱剑豪； 薛建明； 颜莎； 王宇钢；

关键词：纳米多层膜； 离子辐照损伤； 氦泡； 层间界面； 晶界；

机构： 北京大学核物理与技术国家重点实验室； 香港城市大学物理材料与科学系；

摘要： 本文主要围绕ZrO2/W纳米多层膜的抗辐照损伤性能进行研究.实验中使用70 keV He+在8×1016–6×1017cm 2的剂量范围对磁控溅射生长的ZrO2/W多层膜样品进行辐照.辐照前后使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及透射电子显微镜(TEM)对样品的表面形貌及微观结构随剂量增加的演化过程进行表征.研究表明,ZrO2/W纳米多层膜具有较强的抗辐照损伤及抑制氦泡的特性.实验结果也显示,即使对于相同的纳米多层膜组成成分,由于结晶品质、晶界结构和界面的不同,抗辐照性能有所差异.