不同等离子体体系中纳米金刚石薄膜制备的研究

编号：NMJS04144

篇名：不同等离子体体系中纳米金刚石薄膜制备的研究

作者：李伟； 汪建华； 周详

关键词：纳米金刚石薄膜； 微波等离子； 化学气相沉积

机构： 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室； 中国科学院等离子体物理研究所

摘要： 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法分别在CH4/H2/Ar体系、CH4/H2/O2体系和C2H5OH/H2体系中进行纳米金刚石(NCD)薄膜的制备研究。采用原子力显微镜(AFM)和激光拉曼光谱(Raman)等方法对不同体系中制备得到的NCD薄膜的表面形貌及其质量进行了检测。结果表明:在CH4/H2体系中添加O2对于促进高平整度NCD薄膜的效果明显优于添加Ar;C2H5OH/H2体系更有利于制备颗粒更细、金刚石相含量更高的NCD薄膜。利用等离子体CVD技术的相关理论对上述结论进行了理论分析。