界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响

编号：NMJS03875

篇名：界面对ZrN/TaN纳米多层膜固氦性能的影响

作者：王飞； 刘望； 邓爱红； 朱敬军； 安竹； 汪渊；

关键词：ZrN/TaN； 纳米多层膜； 界面； 固氦；

机构： 四川大学原子核科学技术研究所,教育部辐射物理及技术重点实验室； 四川大学物理科学与技术学院物理系；

摘要： 采用射频磁控溅射方法,在混合气氛下制备了ZrN/TaN多层膜利用X射线衍射、慢正电子束分析、增强质子背散射、扫描电子显微镜,分别对ZrN/TaN多层膜中相结构、氦相关缺陷、氦含量、截面形貌等进行了分析.结果表明,调制周期为30nm的ZrN/TaN多层膜在600C退火后,氦的保持率仍能达到45.6%.在适当的调制周期下,ZrN/TaN多层膜能够耐氦损伤并且其界面具有一定的固氦性能.