基于SPR原理的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频图像处理

编号：CSJS00089

篇名：基于SPR原理的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频图像处理

作者：金雯霞； 李孟超；

关键词：SPR； 纳米级； 膜厚； 在线测量； 滑动平均滤波； 小波分析； 时域滤波；

机构： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院；

摘要： 主要研究基于表面等离子共振(SPR)技术的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频信号处理问题。由于CCD在动态连续采集图像的过程中会受到环境以及工作台旋转的影响,从而会随机地产生高斯白噪声和图像的扭曲现象,造成视频图像的模糊或者扭曲失效。通过对视频图像进行滑动平均滤波、小波分析以及动态补偿时域滤波的处理,消除了高斯白噪声和避免图像扭曲的发生,确保了CCD获取视频图像的有效性与清晰度,从而提高了从图像中获取的共振角度变化量的准确性,并进一步提高了金属薄膜厚度的测量精确度与可靠性。