热处理温度对纳米TiN涂层组织和性能的影响

编号：NMJS03762

篇名：热处理温度对纳米TiN涂层组织和性能的影响

作者：董艳春； 阎殿然； 张建新； 杨勇； 何继宁； 陈学广；

关键词：热处理； TiN； 纳米涂层； 显微组织；

机构： 河北工业大学河北省新型功能材料重点实验室；

摘要： 为了提高反应等离子喷涂纳米TiN涂层的致密性、消除涂层内的微观缺陷,在大气、氩气氛和真空中对其进行了热处理。用XRD、SEM、TEM分析了纳米TiN涂层热处理后相组成及组织结构的变化,测试了处理后涂层的结合强度和孔隙率。结果表明:纳米TiN涂层在大气和氩气氛中,于600℃开始发生分解和氧化;真空环境下加热,涂层相组成不发生变化。在大气中600℃加热处理后,TiN涂层中微裂纹愈合,孔隙率降到原来的70%,结合强度基本不变。大气中1000℃热处理后,晶粒尺寸仍为100～200 nm。